Napájecí zdroj pro naprašování
-
Středofrekvenční naprašovací zdroj řady MSB
RF napájecí zdroje řady RHH využívají vyspělou technologii generování RF signálu, která zákazníkům poskytuje RF napájení s větším výkonem, vyšší přesností a rychlou odezvou. S možností nastavení fáze, pulzního řízení, digitálního ladění a dalších funkcí. Použitelné oblasti: fotovoltaický průmysl, průmysl plochých displejů, polovodičový průmysl, chemický průmysl, laboratoře, vědecký výzkum, výroba atd.
Použitelné procesy: plazmově vylepšená chemická depozice z plynné fáze (PECVD), plazmové leptání, plazmové čištění, radiofrekvenční iontový zdroj, plazmová difúze, plazmové polymerační naprašování, reaktivní naprašování atd.
-
Napájecí zdroj pro naprašování řady MSD
Napájecí zdroj pro stejnosměrné naprašování řady MSD využívá základní systém řízení stejnosměrného proudu společnosti v kombinaci s vynikajícím schématem zpracování oblouku, takže produkt má velmi stabilní výkon, vysokou spolehlivost, malé poškození obloukem a dobrou opakovatelnost procesu. Používá čínské a anglické rozhraní pro snadnou obsluhu.