RMA Series Matchers

Stručný popis:

Může být přizpůsoben k napájecímu zdroji RF řady RLS a je široce používán při plazmovém leptání, potahování, čištění plazmou, plazmovém degumování a dalších procesech.Při samostatném použití jej lze použít společně s RF napájecími zdroji jiných výrobců.

Detail produktu

Štítky produktu

Pošlete nám e-mail

Funkce

● Plně digitální ovládání, vysoká přesnost přizpůsobení a krátká doba přizpůsobení

● Přijměte vakuový kondenzátor, vysokou spolehlivost a dlouhou životnost

● Kompaktní konstrukce, malá velikost, snadná instalace

● Mimořádně široký rozsah přizpůsobení, lze jej přizpůsobit jakémukoli zatížení

● S funkcí ručního/automatického párování

● S funkcí přidržení a předvolby

● S komunikační funkcí může být nezávisle připojen k hostitelskému počítači pro zobrazení stavu zatížení v reálném čase

● Přizpůsobitelné výstupní rozhraní

Detail produktu

Technický index	Ovládací napětí: AC220V±10%
	Přenosový výkon: 0,5~5kW
	Frekvence: 2MHz, 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Čas přizpůsobení: konec do konce ＜ 5 s, přednastavený bod k bodu shody ＜ 0,5 ~ 3 s
	Stojatá vlna: ＜1.2
	Impedance skutečné části: 5~200Ω
	Impedance imaginární část: +200~-200j
	RF výstupní napětí: 4000Vpeak
	RF výstupní proud: 25~40Arms
	Vstupní rozhraní: typ N
	Výstupní rozhraní: měděná lišta nebo L29
Poznámka: Produkt se neustále inovuje a výkon se neustále zlepšuje.Tento popis parametru je pouze orientační.