Napájecí zdroj řady RHH

Stručný popis:

RF napájecí zdroje řady RHH využívají vyspělou technologii generování RF signálu, která zákazníkům poskytuje RF napájení s větším výkonem, vyšší přesností a rychlou odezvou. S možností nastavení fáze, pulzního řízení, digitálního ladění a dalších funkcí. Použitelné oblasti: fotovoltaický průmysl, průmysl plochých displejů, polovodičový průmysl, chemický průmysl, laboratoře, vědecký výzkum, výroba atd.
Použitelné procesy: plazmově vylepšená chemická depozice z plynné fáze (PECVD), plazmové leptání, plazmové čištění, radiofrekvenční iontový zdroj, plazmová difúze, plazmové polymerační naprašování, reaktivní naprašování atd.

Detaily produktu

Štítky produktů

Pošlete nám e-mail

Funkce

● Provedení pro montáž do racku a do polovičního pouzdra
● Přijměte plně digitální ovládání s pohodlným a bohatým ovládacím menu
● Funkce ladění frekvence, pulzů a synchronizace pulzů
● S funkcí fázové synchronizace CEX
● Perfektní ochranná funkce

Detaily produktu

Vstup	Vstupní napětí: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (lze upravit dle zvláštních specifikací)
Vstup	Vstupní frekvence: 47~63Hz
Výstup	Výstupní frekvence: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rozsah ladění: ±5%
	Výstupní výkon: 1,5~5 kW
	Rozsah regulace výstupního výkonu: 1~100%
	Výstupní impedance: 50Ω+j0
	Výstupní rozhraní: typ N
	Výstupní režim: kontinuální, pulzní
	Pulzní frekvence: 100 Hz ~ 100 kHz
	Pracovní cyklus: 5~95%
Index výkonnosti	Účiník: 0,98
	Přesnost frekvenční stability: ±0,005 %
	Účinnost: 75 % (při jmenovitém výkonu)
	Harmonické: <-45dBc
	Rozptýlené: <-50dBc
	Externí řídicí rozhraní: analogová veličina, komunikace a synchronizace
	Komunikační režim: Standardní komunikační rozhraní RS485; Volitelné Ether CAT, průmyslový Ethernet atd.
Poznámka: Produkt se neustále vyvíjí a jeho výkon se neustále zlepšuje. Popis tohoto parametru slouží pouze pro informaci.