Středofrekvenční naprašovací zdroj řady MSB

Stručný popis:

RF napájecí zdroj řady RHH spoléhá na vyspělou technologii RF generace, která zákazníkům poskytuje vysokofrekvenční napájecí zdroj s větším výkonem, vyšší přesností a rychlou odezvou.S fází lze nastavit, pulzně řídit, digitální ladění a další funkce.Použitelné oblasti: fotovoltaický průmysl, průmysl plochých displejů, polovodičový průmysl, chemický průmysl, laboratoř, vědecký výzkum, výroba atd.

Použitelné procesy: plazmová chemická depozice z plynné fáze (PECVD), plazmové leptání, plazmové čištění, vysokofrekvenční iontový zdroj, plazmová difúze, plazmové polymerační naprašování, reaktivní naprašování atd.

Detail produktu

Štítky produktu

Pošlete nám e-mail

Funkce

● Styly pro montáž do polovičních cihel a stojanu

● Přijměte plně digitální ovládání s pohodlnou a bohatou nabídkou ovládání

● Funkce ladění frekvence, pulzní a pulzní synchronizace

● S funkcí synchronizace fáze CEX

● Perfektní ochranná funkce

Detail produktu

Vstup	Vstupní napětí: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Speciální specifikace lze přizpůsobit)
Vstup	Vstupní frekvence: 47~63Hz
Výstup	Výstupní frekvence: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rozsah ladění: ±5 %
	Výstupní výkon: 1,5~5kW
	Regulační rozsah výstupního výkonu: 1~100%
	Výstupní impedance: 50Ω+j0
	Výstupní rozhraní: typ N
	Výstupní režim: kontinuální, pulzní
	Pulzní frekvence: 100Hz~100kHz
	Pracovní cyklus: 5~95%
Výkonnostní index	Účiník: 0,98
	Přesnost stability frekvence: ±0,005 %
	Účinnost: 75 % (při jmenovitém výkonu)
	Harmonické: ＜-45dBc
	Zbloudilý: ＜-50dBc
	Externí ovládací rozhraní: analogové množství, komunikace a synchronizace
	Komunikační režim: Standardní komunikační rozhraní RS485;Volitelný Ether CAT, průmyslový Ethernet atd.
Poznámka: Produkt se neustále inovuje a výkon se neustále zlepšuje.Tento popis parametru je pouze orientační.