Mikrovlnný výkon
-
Mikrovlnný výkon
Mikrovlnný spínaný zdroj je nový typ mikrovlnného zdroje založený na technologii vysokofrekvenčního měniče IGBT.Integruje anodový vysokonapěťový zdroj, vláknový zdroj a zdroj magnetického pole (kromě 3kW mikrovlnného zdroje).Vlnový magnetron poskytuje pracovní podmínky.Tento produkt se používá v MPCVD, mikrovlnném plazmovém leptání, mikrovlnném plazmovém degumování a dalších oborech.