Mikrovlnný výkon
-
Mikrovlnný zdroj napájení
Mikrovlnný spínaný zdroj je nový typ mikrovlnného zdroje založený na technologii vysokofrekvenčního měniče IGBT. Integruje anodový vysokonapěťový zdroj, vláknový zdroj a zdroj magnetického pole (kromě 3kW mikrovlnného zdroje). Vlnový magnetron poskytuje pracovní podmínky. Tento produkt se používá v MPCVD, mikrovlnném plazmovém leptání, mikrovlnném plazmovém degumování a dalších oborech.